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洁净室检测大全
点击次数:4900 发布时间:2016-07-11

洁净室检测之洁净度检测

 一、洁净室洁净度说明   

    洁净度检测是无尘室性能测试的核心,气流测试、压力测试,与泄漏测试,都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响,因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕,与落尘有关的性能因素就都测试完毕,其它测试对洁净度影响不大,或是属于其它环境测试。  

 二、洁净室洁净度检测仪器    

洁净度检测使用微粒计数器,仪器须经校正合格且仍在有效期限内,交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格,zui常见的是流量 1cfm ,zui小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ,单位多是立方英呎。至于应使用何种设备,要依业主的规范而定。一般在产业界,多依以下方式选择微粒计数器。 Class 1000 或更高: 0.5μm       Class 100 : 0.3μm ,0.5um     Class 1 到 Class 10 :0.1μm    若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围,则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器,因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准,则要把结果作换算。单位换算,不影响上限的计算程序。     

 三、洁净室洁净度检测步骤:   

  (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成,滤网之风速及泄漏测试均已完成,并已修换破损部分。  

  (2) 确认测试位置与测试点数。   

  (3) 取样时间:每点的取样时间依照等级与粒径不同而异,若取样时间小于一分钟,则以一分钟为准。

  (4) 测试位置应均匀分布在无尘室内,避免在产生大量粒子之附近,且将检测仪器以适当之架台支撑,不可以手持支撑。

  (5) 测量点数以公式计算(与 209E 相同)。

 四、洁净室洁净度检测验收标准:     

洁净度的验收基准有二,首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净度的第二个验收基准就是,任一隔间若需使用信赖度上限分析,则该分析值也必须小于规定值。    

五、洁净室检测之风速及平衡性测试    

一、测试目的  

    气流是控制洁净度与温湿度的zui主要因素,它对噪音也有一些影响。因此风速测量,都是放在无尘室测试的*步。风速测量的目的,是确认滤网送出的气流满足设计规范,其次是确认气流的均匀度。在某些场合可能因现场的限制,室内换气量还必须用风速乘以出口面积来换算。

二、  单*向型无尘室,很多都是设计成垂直层流,因此风速均匀度非常重要,只有均匀的垂直层流,才能有效排除微粒污染。非单*向型无尘室,由于微粒控制的观念是稀释,不是立即排除,一般而言其换气量远比风速重要。但是需注明是滤网风速测量或是无尘室室内风速测量。    

三、使用仪器  

    洁净室里面使用的 HEPA/ULPA 滤网,其送出气流的速度多半都控制在 0.5m/s 以内,因此所使用的风速计必须是低速型。滤网风速测量可使用单点式风速计如电子式压力计配合皮氏管、式风速计。也可以使用多点式风速计如 Shortridge Velgrid 16 点风速计。轮叶式风速计因使用范围不同,通常不在无尘室内使用。式风速计( Hot Wire )虽然高频响应良好,但是低速时 < 0.5m/s 以下 > 准确性很低,因此不很适用,一般热反应风速计常用的是 Thermeister 式风速计。转轮式风速计由于本身重量问题,也不适用低速。 检量及平衡性测试 产生压损,因此其形状很重要,应尽量使用原厂气罩。若有必要自行制造罩子,应注意气流顺畅并且做详细比对。气罩的校正非常重要,必须主机连同罩子一起校正,才能得到准确校正值。检验时必须使用校正合格且仍在有效期限的仪器,于正式检测前及缴交报告时均须检附合格之校正文件。   

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